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CVD石墨烯薄膜(硅片-泡取-PET-石英-懸空轉(zhuǎn)移-銅-藍寶石基底)

發(fā)布日期:2022-04-29  來源:  瀏覽次數(shù):18

CVD法是目前能夠制備出高質(zhì)量、大面積石墨烯的方法,是石墨烯薄膜實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)zui具潛力的方法?;瘜W(xué)氣相沉淀CVD法具體過程:將一種含碳的氣態(tài)物質(zhì)在高溫和真空的環(huán)境下用氫氣作為還原性氣體通入帶爐內(nèi),生產(chǎn)石墨烯全部都是沉積的襯底表面,冷卻過程中在基底表面便會形成數(shù)層或單層石墨烯,此過程中包含碳原子在基底上溶解及擴散生長兩部分。

CVD法制備石墨烯的基本過程:

把基底金屬箔片放入爐中,通入氫氣和氬氣或者氮氣保護加熱至1000℃左右,穩(wěn)定溫度,保持20min左右;然后停止通入保護氣體,改通入碳源(如甲烷)氣體,大約30min,反應(yīng)完成;切斷電源,關(guān)閉甲烷氣體,再通入保護氣體排凈甲烷氣體,在保護氣體的環(huán)境下直至管子冷卻到室溫,取出金屬箔片,得到金屬箔片上的石墨烯。

合肥微晶材料科技能夠提供高質(zhì)量大面積CVD石墨烯薄膜,石墨烯薄膜品類有單層和少層(尺寸可定制):

銅基底石墨烯薄膜、單面生長銅基底石墨烯薄膜、PET石墨烯薄膜、懸空自助轉(zhuǎn)移石墨烯薄膜、氧化硅基底石墨烯薄膜、硅基底石墨烯薄膜、泡-取式石墨烯薄膜、藍寶石基底石墨烯薄膜、石英基底石墨烯薄膜、鎳泡沫石墨烯薄膜(3D石墨烯)、自助轉(zhuǎn)移鎳泡沫石墨烯薄膜

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CVD法制備石墨烯的基本過程:

把基底金屬箔片放入爐中,通入氫氣和氬氣或者氮氣保護加熱至1000℃左右,穩(wěn)定溫度,保持20min左右;然后停止通入保護氣體,改通入碳源(如甲烷)氣體,大約30min,反應(yīng)完成;切斷電源,關(guān)閉甲烷氣體,再通入保護氣體排凈甲烷氣體,在保護氣體的環(huán)境下直至管子冷卻到室溫,取出金屬箔片,得到金屬箔片上的石墨烯。

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